ნახევარგამტარების წარმოებაში „ნულოვანი დეფექტის“ სულ უფრო მკაცრი მოთხოვნების ფონზე, Lijie-ს 9 დიუმიანი დაბალქლორიანი ნიტრილის ხელთათმანები შეუცვლელ დამცავ აღჭურვილობად იქცა ვაფლის დამუშავებისა და ჩიპების შეფუთვის ეტაპებზე, მათი განსაკუთრებული დაბალი იონური ნარჩენებისა და მაღალი სისუფთავის მახასიათებლების გამო. სპეციალიზებული დამუშავების გზით, ხელთათმანში ქლორის შემცველობა მკაცრად კონტროლდება ≤50 ppm-ზე - მნიშვნელოვნად აღემატება ინდუსტრიის სტანდარტს 100 ppm. ეს ეფექტურად უშლის ხელს ვაფლის ზედაპირებზე ქლორიდის იონების მიგრაციით გამოწვეულ კოროზიის რისკებს, რითაც აკმაყოფილებს ნახევარგამტარების წარმოების მკაცრ მოთხოვნებს მიკროსკოპული დაბინძურების კონტროლის შესახებ.
ლითოგრაფიული პროცესების დროს ხელთათმანების სისუფთავე პირდაპირ გავლენას ახდენს ფოტორეზისტული საფარის სიზუსტესა და ექსპოზიციის შედეგებზე. დამზადებულია 100,000 კლასის სუფთა ოთახში და ექვემდებარება ლაზერული მტვრის მოცილებას, ეს პროდუქტი ავლენს ზედაპირული ნაწილაკების გამოყოფას 0.2 ნაწილაკზე ნაკლებს კვადრატულ ინჩზე - აკმაყოფილებს ISO 3 კლასის სუფთა ოთახის სტანდარტებს. ეს ეფექტურად ხელს უშლის მიკრონაწილაკების ადჰეზიას ვაფლის ზედაპირებზე, რითაც ამცირებს ლითოგრაფიულ დეფექტებს. 9 დიუმიანი სიგრძის დიზაინი უზრუნველყოფს სრულ დაფარვას მაჯიდან ხელისგულამდე. ელასტიური მანჟეტის სტრუქტურასთან ერთად, ის უზრუნველყოფს ოპერაციულ მოქნილობას და ეფექტურად ხელს უშლის მტვრის მოცილება სახელოს ღიობში, აკმაყოფილებს ლითოგრაფიულ პროცესებში დინამიური სუფთა გარემოს მკაცრ მოთხოვნებს.
მაღალი კოროზიის მქონე რეაგენტების, როგორიცაა გრავირება და იონური იმპლანტაცია, გამოყენებისას, ეს ხელთათმანები ავლენენ განსაკუთრებულ ქიმიურ მდგრადობას. ჩვეულებრივ ნახევარგამტარულ რეაგენტებში, როგორიცაა ფტორწყალბადის მჟავა და ფოსფორმჟავა, 24-საათიანი ჩაძირვის ტესტირების შემდეგ, მათ არ აღენიშნებათ შეშუპება ან ბზარები, წონის ცვლილების სიხშირით 0.8%-ზე ნაკლები. ეს უზრუნველყოფს ოპერატორების ხელების საიმედო დაცვას და ამავდროულად გამორიცხავს ხელთათმანების დაზიანების შედეგად რეაგენტების დაბინძურების რისკს. თითის წვერებს აქვს 0.02 მმ ლაზერით გრავირებული მოცურების საწინააღმდეგო ტექსტურა, რაც 35%-ით ზრდის ხახუნს 12 დიუმიანი ვაფლების დამუშავებისას და 60%-ით ამცირებს ვაფლის მოცურების რისკს. ეს უზრუნველყოფს ბალანსს დამცავ უსაფრთხოებასა და ოპერაციულ სტაბილურობას შორის.
ამჟამად SEMI F57 სტანდარტების შესაბამისად სერტიფიცირებული ეს ხელთათმანები გამოიყენება მასობრივი წარმოების ხაზებში წამყვან ჩამოსხმელ ქარხნებში, მათ შორის SMIC-სა და Hua Hong Semiconductor-ში. ისინი 38%-ით ამცირებენ ხელით შეხებით გამოწვეული ვაფლის ნამსხვრევების მაჩვენებელს, რაც ნახევარგამტარების წარმოებაში იდეალურ არჩევანად ყალიბდება სუფთა ოთახების დაცვისა და ოპერატიული ეფექტურობის დაბალანსებისთვის.
გამოქვეყნების დრო: 2025 წლის 11 ნოემბერი